Semiconductor ceramic equipment Industry Development Report(2024)
目录
一、半导体陶瓷行业简介
二、行业发展历程
三、产业链分析
三、主要生产工艺流程介绍
四、行业发展现状
五、未来发展趋势
一、半导体陶瓷行业简介
电子陶瓷作为现代电子信息产业的基石材料,是一类以精密化学组成和微观结构设计为核心的功能性陶瓷。不同于传统陶瓷对机械强度和耐热性的侧重,电子陶瓷通过调控晶相、晶界和掺杂元素,赋予材料独特的电学、磁学或光学性能,例如高压电系数、超低介电损耗、高频稳定性等。这类材料能够实现电能与机械能、热能、光能之间的高效转换,或对电信号进行精确调控,因而成为半导体器件、通信系统、新能源装备等领域不可或缺的核心组件。
从材料体系分类来看,电子陶瓷隶属于先进陶瓷中的功能陶瓷分支。先进陶瓷按用途可分为结构陶瓷和功能陶瓷两大方向:前者以提升力学性能为目标,典型代表如火箭发动机喷嘴使用的碳化硅陶瓷;后者则以开发物理功能为导向,涵盖电子陶瓷、磁性陶瓷、光学陶瓷等细分领域。在功能陶瓷家族中,电子陶瓷因其在电子信息领域的广泛应用而占据主导地位,其核心分支包括介电陶瓷、压电陶瓷、半导体陶瓷、绝缘陶瓷等。例如,钛酸钡基介电陶瓷凭借其高达3000以上的介电常数,成为多层陶瓷电容器(MLCC)的介质材料,支撑着智能手机、笔记本电脑等消费电子产品的微型化发展;锆钛酸铅(PZT)压电陶瓷则因优异的机电耦合特性,被广泛应用于超声医疗设备、汽车喷油嘴控制等场景。
特性 | 电子陶瓷 | 传统半导体(如硅、GaN) |
材料结构 | 多晶陶瓷,晶界效应显著 | 单晶或薄膜,晶格高度有序 |
工作环境 | 耐高温(>500℃)、抗辐射 | 一般适用于中低温(<200℃) |
导电机制 | 晶界势垒、缺陷导电、离子迁移 | 电子/空穴载流子主导 |
应用场景 | 恶劣环境(高温、腐蚀)、多功能集成 | 集成电路、光电子器件 |
电子陶瓷与传统半导体的区别
其中,半导体陶瓷是指具有半导体特性、电导率约在10-6~105S/m的陶瓷。半导体陶瓷的电导率因外界条件(温度、光照、电场、气氛和温度等)的变化而发生显著的变化,因此可以将外界环境的物理量变化转变为电信号,制成各种用途的敏感元件。
半导体陶瓷设备作为制造高性能半导体陶瓷材料的核心工具,其特点集中体现在对极端工艺条件的精准控制、复杂工艺链的集成能力以及对多样化材料与应用的深度适配。这类设备需在高温、高压、腐蚀性气体等严苛环境下稳定运行,例如烧结炉需在1300℃至1800℃范围内实现±1℃的温控精度,同时结合真空或惰性气体(如氮气、氩气)保护,以调控陶瓷材料的晶界特性与致密化过程。其工艺设计强调多功能集成,例如流延机不仅实现纳米级浆料的均匀涂布,还同步完成干燥与多层堆叠,满足多层陶瓷电容器(MLCC)对微米级薄膜的精度要求;等静压机通过各向同性压力成型复杂结构坯体,确保材料密度均匀性,而微波烧结技术则突破传统加热方式,以快速升温和节能特性细化晶粒,适用于氮化铝(AlN)等高导热材料的制备。
在智能化与环保趋势推动下,半导体陶瓷设备逐步融合AI控温、物联网远程监控等技术,通过机器学习优化烧结曲线,减少层间缺陷,同时借助自动化产线降低人工干预,提升良品率。设备还面临高度定制化需求,例如铁电陶瓷需配备高压极化装置以定向调控电畴,而功率半导体陶瓷基板则依赖大面积均匀加热技术避免热应力裂纹。相较于传统半导体设备,其更强调对氧化物、氮化物等非硅基材料的兼容性,且在耐高温、抗腐蚀等环境适应性上表现突出,但也存在高端设备依赖进口、纳米粉体制备纯度控制等技术瓶颈。未来,随着3D打印、原子层沉积(ALD)等新技术的引入,半导体陶瓷设备将进一步向精密化、绿色化方向发展,成为支撑5G通信、新能源等领域高端陶瓷器件突破的关键基础设施。
中国半导体陶瓷行业的雏形可追溯至20世纪50年代。随着电子器件的初步需求增长,半导体陶瓷开始应用于电容器、滤波器、压电元件和绝缘体等基础电子元器件中。这一阶段的材料以氧化物为主,生产工艺较为简单,主要满足国内基础需求。20世纪60至70年代,国内企业开始大规模生产电子陶瓷材料,逐步形成完整的产业链。这一阶段的产能扩张主要得益于电子工业的快速发展,尤其是通信和仪器仪表领域的应用需求。同时,中国半导体陶瓷产品开始进入国际市场,尤其在东南亚等地区,初步展现了国际竞争力。
80至90年代,中国半导体陶瓷行业在材料配方、烧结技术及精密加工方面取得显著进展。例如,铁电陶瓷(如PZT)的极化工艺优化,使得产品在传感器、电容器等领域的应用更加广泛。国家也通过产业政策引导技术升级,例如《制造业可靠性提升实施意见》等文件的出台,推动了核心材料和工艺的可靠性提升。
进入21世纪,5G通信、新能源、半导体等新兴产业的爆发式增长,推动半导体陶瓷向高性能、微型化方向发展。例如,多层陶瓷电容器(MLCC)、光通信器件外壳等高端产品需求激增。国内龙头企业如河北中瓷电子科技和山东国瓷功能材料通过自主研发,在氮化铝陶瓷基板、激光雷达用陶瓷外壳等领域实现技术突破,并加速全球化市场拓展。国家将电子陶瓷列为新一代信息技术产业的关键战略材料,通过《电子信息制造业稳增长行动方案》等政策,进一步推动行业标准化和高端化发展。
半导体陶瓷行业从早期的简单应用逐步发展为技术密集型的战略性产业,其历程体现了政策引导、技术创新与市场需求的多重驱动。未来,随着半导体产业的持续扩张和国产替代加速,行业有望在高端市场实现更大突破。
半导体陶瓷作为电子陶瓷的核心分支,是电子信息产业不可或缺的基础材料,其产业链涵盖从原材料到终端应用的完整链条,涉及技术密集型环节和多元化的应用场景。上游原材料环节为半导体陶瓷材料行业产业链的起点,这一环节的供应商较多,主要涉及原材料及设备供应商,包括陶瓷粉体、有色金属浆料、化工原料和陶瓷生产设备。半导体陶瓷的原材料主要包括高纯度氧化物(如氧化铝、氧化锆)、非氧化物(如氮化铝、碳化硅)以及功能添加剂(如钛酸钡、氧化锌)。其中,MLCC配方粉(多层陶瓷电容器介质材料)是核心原料,全球市场由日本堺化学(28%)、美国Ferro(20%)主导,国内企业如国瓷材料(10%)通过技术突破逐步缩小差距。氮化铝(AlN)和碳化硅(SiC)等高导热材料需求激增,日本京瓷、Ferrotec技术领先,国内珂玛科技已实现氮化铝陶瓷的国产化供应。生产设备方面,粉体制备、烧结炉、精密加工设备仍依赖进口,德国Netzsch、日本Dorst等企业占据高端市场。国内厂商在流延机、叠层机等中端设备实现替代,但纳米级粉体合成设备仍需技术突破。
半导体陶瓷行业的中游制造涵盖半导体陶瓷的成型、烧结与模块化集成,主要负责将陶瓷粉料等原材料烧结进成各类陶瓷材料,进而加工打磨为各类零部件,按功能可分为三类:1)结构陶瓷:如氧化铝腔体部件,耐等离子体腐蚀,用于半导体刻蚀设备,国内珂玛科技产品已进入中微公司供应链;2)功能陶瓷:包括氮化铝加热器(±5℃温控精度)、碳化硅散热基板(热导率>170 W/m·K),技术壁垒高,国际龙头京瓷、CoorsTek垄断高端市场,国内企业通过产学研合作加速追赶;3)高端模块化产品:如静电卡盘(ESC)和陶瓷加热器,国产化率不足20%。
半导体陶瓷的下游应用呈现“多点开花”特征:1)半导体制造设备:氧化铝陶瓷腔体用于刻蚀机,碳化硅机械臂适配12英寸晶圆搬运,需求随晶圆厂扩产激增;2)第三代半导体:碳化硅陶瓷衬板(DBC/AMB)用于新能源汽车电驱系统,2024年中国汽车电子市场规模超1.2万亿元,带动氮化硅轴承、氧化锆氧传感器需求;3)5G与通信:微波介质陶瓷(如钛酸镁)用于5G基站滤波器,高频低损耗特性支撑毫米波通信,2025年全球5G基站数量预计达650万座;4)先进封装:氧化锆陶瓷探针卡适配Chiplet技术,3D IC封装推动高精度陶瓷基板需求。
目前,国内半导体陶瓷上游陶瓷粉体环节参与者包括国瓷材料、中国铝业和东方锆业等,有色金属材料行业代表企业有聚和材料、儒兴科技等,化工原料行业企业众多,代表有中国石化、中国稀土集团等,先进陶瓷生产设备有科达制造、中础窑炉、恒力装备和费舍罗热工装备等;行业中游先进陶瓷材料和零部件生产企业有国瓷材料、三环集团、新纳等。
半导体陶瓷产业链结构梳理
半导体陶瓷制备工艺主要包括粉料制备、粉料成型、高温烧结、精密加工、品检、表面处理等。
1.粉料制备
这个阶段涉及粉末的合成和混合。涉及的设备包括球磨机(用于粉碎和混合原料)、喷雾干燥机(将浆料转化为颗粒)、高温炉(比如回转炉或箱式炉,用于煅烧原料)。还有化学合成设备,比如溶胶-凝胶法用的反应釜,或者共沉淀法用的搅拌反应器。此外,可能需要筛分设备,比如振动筛,确保粉末粒度均匀。具体流程如下:
1)配料:原料中加入各种需要的材料,制备成特定配方的粉料。可以采用固相法、液相法、气相法等来制备。
2)机械球磨:球磨机是工业生产中常用的制备原料的设备,其内衬大多是陶瓷材料,也有的是采用高分子材料。将需要球磨的粉料加入到球磨机中,并加入各种陶瓷球作为研磨球。在研磨球和机械球磨后,粉料粒度可以达到微米级别。
球磨机工作原理
3)喷雾干燥:制备的陶瓷细粉或粉料沉淀物、胶体等经常需要水洗、过滤、干燥和煅烧,这些工艺过程一般会影响粉料成分的均匀性、颗粒的大小以及形状。采用喷雾的方式可以将溶液分散成小液滴,喷入热风,并使得溶剂迅速蒸发,从而可以得到均匀尺寸和形状的粉料。经过喷雾干燥后的粉料,制备烧结体后具有较细的晶粒。
2.粉料成型
这一阶段会将相应配方制备的粉料压制成陶瓷生坯。常见的设备有压机,比如单轴压机或等静压机(冷等静压或热等静压)。注塑成型机可能用于复杂形状,流延机用于制作薄片,比如多层陶瓷电容器。还有挤出机,用于生产管状或棒状产品。陶瓷制品成型方法通常包括干压成型、等静压成型、流延成型、注射成型、凝胶注模成型等多种方法。
1)干压成型:该工艺主要通过把造粒后颗粒级配适合的粉末,倒入到金属模腔中,用压头对其施加压力,压头在模腔中进行移位,并将压力传递给模具中的粉体颗粒,使其被压实,最终形成具有一定形状和强度的陶瓷素坯产品。
干压成型压制过程与流程
2)等静压成型:该工艺是把需要压制成型的半导体陶瓷零部件放入等静压机中,利用液体不可压缩和均匀传递压力的性质从各个方向对试样进行均匀加压,当液体介质通过压力泵注入压力容器中时,其压强大小不变且均匀传递到各个方向,这样,陶瓷零部件在各个方向上受到均匀的大小一致的压力,从而使得陶瓷零部件更加致密。
3)流延成型:流延成型是较复杂的一个工艺,它是能够一次成形制造出厚度从数十微米至毫米量级的陶瓷毛坯的湿式成形技术,将具有一定粘性且分散性较好的陶瓷浆料,从流延机浆料槽刀口流到基带上,将浆料展开,在表面张力的作用下,生成光滑上表面的坯膜,将坯膜连同基带一起送到烘干室内,在溶剂挥发后,有机粘结剂在陶瓷颗粒之间生成网络,从而生成具有一定强度和柔性的坯片,将干燥的坯片从基带上剥离后,卷轴备用。根据需要对产品进行裁切、冲压、穿孔等工序,再进行烧制,即可完成产品的加工。
流延机
4)注射成型:注射成型是将热塑性材料与陶瓷粉体混合成热溶体,然后注射到相对冷的模具中,待冷却后,将成型好的坯体制品顶出脱模即可,该工艺可以快速自动地进行批量生产,而且其工艺过程可以进行精确控制,该工艺可以成型复杂形状的陶瓷产品,应用较广。
5)凝胶注模成型:凝胶注模成型是在高固相含量、低粘度的陶瓷浆料中掺入低浓度的有机单体,再加入引发剂并浇注,然后使浆料中的有机单体在一定条件下发生原位聚合反应,形成坚固的交联网结构,浆料凝固后经过脱模、干燥、排胶、烧结后得到所需的陶瓷零部件。
3.排胶烧结
排胶(也称脱胶)指的是,在对切割后陶瓷生坯进行热处理,将添加在陶瓷粉体内起黏结作用的PVB树脂和DOP等有机物在一定温度条件下分解排出的过程。排胶的目的是避免瓷体烧结时有机物的快速挥发导致分层和开裂等缺陷。排胶主要流程:装钵排片→进排胶炉排胶→出排胶炉。烧结是在一定温度、气氛及气压条件下陶瓷体烧结致密化的过程,同时产生一定的机电性能,可以使排胶后的芯片成为内电极完好,致密性好,尺寸合格,高机械强度和优良电性能的陶瓷体。烧结主要流程:摆放→烧结→出烧结→卸钵。
流程 | 目的 | 关键细节 |
去胶 | 去除成型部件上的粘合剂。 | 方法:热降解、蒸发、溶剂萃取。温度控制最高可达 600°C。 |
烧结 | 熔化金属/陶瓷颗粒,生产致密坚固的产品。 | 温度循环最高可达 1300°C。在真空环境中进行,加热均匀。 |
组合/分离 | 优化时间和精度。 | 组合式:单一流程,提高效率。 分离式:更好地控制复杂部件。 |
熔炉设置 | 确保效率和成本效益。 | 尺寸、配置(箱式/非箱式)和隔热材料对保持高温至关重要。 |
防止缺陷 | 避免翘曲和裂纹。 | 控制温度、压力、气体环境和退火时间。考虑材料和粘合剂类型。 |
排胶烧结流程、目的及关键细节
陶瓷制品有的是先排胶再烧结,有的是排胶和烧结一起完成。通常排胶温度低于烧结温度,不超过1000℃。通过高温处理使陶瓷致密化,这里需要烧结炉,比如箱式炉、隧道窑、气氛烧结炉(可控气氛,如氮气或氢气)。还有微波烧结设备,可能用于特殊工艺。热压烧结机结合压力和温度,可能用于高密度材料。
排胶烧结一体炉
高温烧结方式主要包括常压烧结、真空烧结、气氛烧结。通过烧结可以使得陶瓷由生坯转化为熟坯,变成致密结构。
1)常压烧结:常压烧结就是对材料不进行加压而使其在大气压力下烧结,是较常用的烧结方法,这种方法一般是在氧气气氛下或者某种特殊气体气氛条件下烧结。在常压烧结过程中,成型的坯体不受外加压力的作用,只是在常压下加热粉末颗粒的聚集体转变成晶粒结合体。
2)真空烧结:真空烧结是指在真空环境下,将特定形态的陶瓷坯体通过物理、化学作用,在真空状态下,转化为致密、硬的烧结体。氧化物陶瓷坯体中的孔隙主要是由水、氢和氧等物质组成,在烧结时它们会通过气孔逃逸。但是,一氧化碳,二氧化碳,尤其是氮,很难通过气孔逃逸,导致产品的致密性降低。通过真空烧结,可以使所有的气体都排出,因此,产品的致密度得到改善。
3)气氛烧结:对于在常压烧结中较难烧结的陶瓷件,常用气氛烧结。这种方法是在炉内通入一定的气体形成需要的气氛,使得陶瓷零部件在特定的气氛下烧结。根据材料的不同,一般可以采用氧气、氢气、氮气、氩气等不同气氛。
4.精密加工
生坯烧结后的陶瓷零部件尺寸尚未达到所需尺寸,需要将烧结过的陶瓷熟坯及陶瓷制品进行进一步精加工,设备包括平面磨床、内外圆磨床,激光切割机用于精细切割,CNC机床用于复杂形状加工,超声波加工设备处理高硬材料,抛光机提升表面光洁度。陶瓷CNC加工是指利用计算机控制来操作和操纵机器和切削工具对陶瓷零部件进行成型的减材制造过程。陶瓷材料由于硬度高、强度高、易碎等特性,在其加工过程中要格外注意,而且很多陶瓷零部件要求的精度较高,加工难度较大。采用CNC加工可以很好地控制精度,确保多个零件的一致性。
5.品检
经过上述步骤处理过的陶瓷零部件制品需要经过人工品检其外观、尺寸、气孔率、粗糙度等性能是否符合要求,有的质量要求高的制品需要检测设备进行检测,以确保半导体陶瓷零部件的质量。经检验合格的产品再进行下一步操作,不合格的重新返工或报废。所用设备有阻抗分析仪测电性能,介电常数测试仪,SEM观察微观结构,XRD分析晶体结构,探针台测电导率,热分析仪(TGA/DSC)测热性能,还有常规的厚度和尺寸测量工具。
工作人员进行品检
6.表面处理
半导体设备对清洁度要求非常高,品检合格的半导体陶瓷零部件还需要进一步对其进行表面清洗,通常采用酸洗、碱洗、有机溶剂清洗等方法,清洗过后的产品干燥后,再次检查其品质,合格的产品到无尘室进行包装即可。
喷砂处理静电卡盘
1、总体趋势
从市场规模来看,中国半导体陶瓷制造与加工行业呈现出稳步增长态势。据产业研究院发布的《2025-2030年中国电子陶瓷行业投资规划及前景预测报告》显示,2022年中国电子陶瓷市场规模已达到998亿元,近五年年均复合增长率为14.68%。这一增长趋势预计在未来几年内将继续保持,到2025年,中国电子陶瓷市场规模有望突破1500亿元大关。这一市场规模的扩大主要得益于下游应用领域的巨大需求,如5G通信、人工智能、新能源汽车等领域的快速发展,对电子陶瓷材料的需求持续攀升。
半导体陶瓷制造与加工是整体产业链中的核心环节,它涵盖了从原材料处理成型、烧结到后处理等一系列工艺过程,最终生产出满足特定电子元件和器件需求的半导体陶瓷产品。近年来,随着电子信息产业的快速发展,半导体陶瓷制造与加工行业迎来了前所未有的发展机遇,市场规模持续扩大,技术水平不断提升,市场竞争格局也日益多元化。
成型是电子陶瓷制造与加工中的关键环节之一。目前,常用的成型方法包括干压成型、注浆成型、流延成型等。这些成型方法各有优缺点,适用于不同的电子陶瓷产品和生产规模。随着成型技术的不断进步,如3D打印技术的引入,电子陶瓷的成型精度和复杂度得到了显著提升,为开发新型电子陶瓷产品提供了可能。
排胶烧结是电子陶瓷制造与加工中的核心环节,也是后续行业规模分析的重点。通过高温处理,使陶瓷粉体颗粒之间发生物理化学反应,形成致密的陶瓷体。烧结工艺对电子陶瓷产品的性能和质量具有决定性影响。近年来,随着烧结技术的不断进步,如微波烧结、热压烧结等新型烧结技术的应用,使得电子陶瓷的烧结温度降低、烧结时间缩短,同时提高了产品的致密性和性能。
后处理是电子陶瓷制造与加工中的最后一道工序,主要包括研、抛光、切割电镀等步骤。这些工序旨在进一步提高电子陶瓷产品的表面质量和尺寸精度,以满足下游应用领域的需求。随着自动化和智能化技术的发展,后处理工艺的效率和质量得到了显著提升。
2、半导体陶瓷排胶烧结设备的行业发展分析
电子陶瓷材料的排胶烧结是工业窑炉及配套设备的另一主要应用。电子陶瓷材料排胶烧结窑炉按作业方式主要分为连续式和间歇式;按使用热源划分,主要是电阻炉,少数为火焰炉;按机械方式划分可分为辊道炉、推板炉、箱式炉、网带炉、钟罩炉。
随着电子陶瓷材料在电子产品、信息通信、汽车工业、航空航天等领域应用不断加深,电子陶瓷材料需求稳步提升。在电子陶瓷材料制造企业的迅速发展背景下,电子陶瓷材料排胶烧结窑炉及配套设备市场空间不断增长。根据中金企信统计数据,2021年中国电子陶瓷材料排胶烧结窑炉及配套设备市场规模约为21亿元,同比增长55.6%。随着电子陶瓷材料需求提升,电子陶瓷材料制造企业将对电子陶瓷材料排胶烧结窑炉需求进一步增长,预计未来5年内,电子陶瓷材料排胶烧结窑炉及配套设备市场仍将以超过20%的年均复合增长率继续增长。
2017-2026年中国电子陶瓷材料排胶烧结窑炉及配套设备市场规模预测
在电子陶瓷材料排胶烧结窑炉市场中,根据下游细分陶瓷种类的不同主要包括介电陶瓷排胶烧结设备、压电陶瓷排胶烧结设备、半导体陶瓷排胶烧结设备、铁电陶瓷排胶烧结设备和超导陶瓷排胶烧结设备五大类。由于缺少相关的细分数据,我们将根据其下游陶瓷体的份额来估计对应设备的市场份额。
介电陶瓷是电子陶瓷中最大的细分领域,主要用于电容器、绝缘子等电子元件,预计占据整个电子陶瓷市场55-65%。压电陶瓷是电子陶瓷的第二大细分领域,广泛应用于传感器、换能器等,预计占比20-25%。半导体陶瓷主要用于热敏电阻、气敏传感器等,主要受5G、物联网需求驱动,预计占比10-13%。铁电陶瓷主要用于存储器和电容器,属于功能陶瓷的高端领域,占比2-4%。超导陶瓷及其他电子陶瓷目前处于技术探索阶段,商业化应用较少,市场份额极小,预计不足2%。
电子陶瓷排胶烧结设备细分市场占比情况
半导体陶瓷排胶烧结炉主要厂商集中在江苏、安徽、河南、上海、湖南等地,其中江苏宜兴因“窑炉之乡”的产业集聚效应,拥有多家专业企业。高端市场趋向智能化(如AI控温)、节能化(微波/真空烧结),而中低端市场以性价比和定制化为主。
1)恒力装备:创建于1992年。公司致力于工业电加热设备、系统集成和环保装备三大业务领域,将产业发展定位在由电子元器件装备、新能源装备、电子电镀装备组成的主导产业;由智能制造、新材料、表面清洗、环保节能处理组成的重点产业以及由智能制造、先进新材料组成的培育产业等三大产业方向。
2)费舍罗热工装备:是一家专业从事陶瓷基板热工装备研发、设计、生产制造为一体的现代化高新技术企业,产品涵盖排胶炉、烧结炉、箱式炉、管式炉、井式炉、真空炉、气氛炉、脱脂炉、钟罩炉、网带炉、推板窑、辊道窑等多种热处理设备。公司主导产品半导体用节能环保型氮化物陶瓷排胶预烧结炉,是第三代半导体材料产业链中核心器件氮化物基板生产的关键设备。
3)顶立科技:核心产品为碳化硅真空脱脂烧结炉,专为半导体材料(如碳化硅陶瓷)设计,结合真空脱脂与烧结工艺,适用于高性能陶瓷的致密化处理。公司是A股主板上市公司(楚江新材002171)的控股子公司,攻克了第三代半导体氮化镓和碳化硅单晶生长用原材料和热场材料的关键制备技术,研制的“四高”“两涂”产品(即高纯碳粉、高纯碳化硅粉、高纯碳纤维隔热材料、高纯石墨、碳化硅涂层石墨构件、碳化钽涂层石墨构件),性能指标达国内领先水平,广泛应用于半导体、核电、电子电器、光伏、航天航空等领域。
4)邦世达炉业:公司专业从事制造各种工业窑炉、实验用炉。设备广泛应用于电子元件、化工粉体、工业陶瓷、锂电池正负极材料、稀土化工、新材料、粉末冶金、磁性材料、纳米材料、玻璃、金属钎焊、镀膜等行业领域。适用于各类产品的预烧、排胶、烧成、烘干、烧银、热处理、固化、陶瓷金属化等工序。核心产品压电陶瓷烧结炉、氧化锆/氧化铝陶瓷烧结炉能耗低、烧成周期短,支持氮气/氨气气氛控制,适合批量生产需求。
5)美扬科技:公司于1989年成立,是台湾一家专业生产全进口真空烧结炉和真空烘烤炉及热处理炉厂家,原材料都采用德国,美国及日本全进口牌,专精于MIM,P/M,硬质合金及LED行业的各式真空脱脂烧结炉和真空热处理系统的设计研发,生产制造及销售,真空热制程技术成熟,面向全球市场。
1)高性能化与材料体系创新:半导体陶瓷的核心发展方向是提升材料的综合性能以满足更严苛的工艺需求。随着半导体制程向2nm及以下节点演进,设备对陶瓷部件的耐腐蚀性、热导率、介电损耗等指标要求持续提高。例如,氮化硅(Si3N4)陶瓷基板因其热导率突破110W/(m·K)和抗弯强度超600MPa,成为新能源汽车电驱系统的关键散热材料。同时,碳化硅(SiC)陶瓷在电力电子器件中的应用需求激增,其耐高温(1400℃)和高频特性适配5G通信基站滤波器与新能源汽车快充模块。未来,通过纳米复合技术、晶界工程优化和掺杂工艺改进,陶瓷材料的介电常数、机械强度及热稳定性将进一步提升,支撑先进封装(如Chiplet)和第三代半导体(GaN、SiC)的普及。。
2)环保化与无铅化转型:欧盟RoHS指令的严格环保要求推动半导体陶瓷向无铅化发展。传统含铅压电陶瓷(如PZT)正逐步被铌酸钾钠(KNN)等无铅材料替代。尽管实验室性能已接近传统材料,但量产仍面临烧结温度窗口窄、成本高等挑战。此外,绿色制造工艺的推广(如可回收粉体利用、低能耗烧结技术)成为行业重点。例如,中国天瓷电子通过纳米级高纯二氧化钛粉体技术,降低了MLCC生产中的资源消耗,实现进口替代的同时兼顾环保目标。
3)国产替代与产业链自主可控:中国半导体陶瓷产业正加速突破“卡脖子”技术。2024年,国内半导体陶瓷国产化率提升至30%,珂玛科技的静电卡盘(ESC)和陶瓷加热器已进入中微公司、北方华创供应链,打破京瓷、CoorsTek的垄断。江苏集萃半导体陶瓷材料研究所通过产学研合作,聚焦精密陶瓷部件设计、烧结工艺等核心技术,推动国产化进程。此外,富乐华在氮化硅陶瓷基板领域的量产突破,填补了国内功率半导体封装材料的技术空白,助力新能源汽车与5G产业链自主可控。
4)智能化制造与产业协同升级:AI与计算材料学的结合将大幅缩短研发周期。例如,三环集团引入机器学习优化烧结工艺,将新材料开发周期从传统“试错法”的10年缩短至2-3年。同时,智能制造设备(如全自动CHIP LED封装线)提升生产效率,协进半导体通过62项专利赋能产线,实现光感元器件产能翻倍。产业链协同方面,政企共建的科创平台(如泰兴半导体陶瓷研究所)整合高校、企业资源,加速技术转化与产能落地。
地址:北京市西城区广安门外大街168号朗琴国际B座1019室
综合部:010-63305665
行业服务部:010-63305033
科技与信息部:010-63305626
培训部:010-63305398
展览部:010-63305752
扫码关注公众号